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特征

行程可達4m x 4m

以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺

良好接地設(shè)計防止噪聲干擾

Z向震動可達奈米等級以下

速度高至5m/s

標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下

位置回饋系統(tǒng)分辨率低至50nm

應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備

自動化搬送

FPD設(shè)備

太陽能制造設(shè)備

PCB設(shè)備

水刀設(shè)備

鉆石切割產(chǎn)業(yè)

AOI檢測設(shè)備

工具機